据外媒12月3日报道，荷兰光刻机龙头大厂ASML的元件供应商Prodrive工厂12月1日发生火灾。目前ASML已启动备用供应商的策略调货，今年出货不至于有影响，但2019年出货是否递延要再评估。

ASML是目前全球最先进极紫外光刻机（EUV）的唯一供应商。有分析人士认为，若这条生产供应链受到影响，未来将给台积电、三星等企业之间的“7纳米大战”，带来不稳定因素。

Prodrive工厂大火

据ASML官网12月3日发布的通告消息，元件供应商Prodrive主要为ASML提供电子元件和模块，火灾摧毁部分库存、生产线。为此，ASML已在第一时间寻找其他供应商提供替代原件和物资，并表示将花上几周时间来，来对这场火灾造成的影响进行全面评估。

图自荷兰广播电台omroep brabant

ASML在声明中强调，现已确定2018年出货不会受到影响，但2019年年初供货情况预计将会递延（expects some delay）。

根据ASML公司早前财报中的消息，Q3季度ASML出货了5台EUV光刻机，上个季度出货7台EUV光刻机，预计Q4季度出货6台EUV光刻机，全年出货的数量将达到18台，而2019年EUV光刻机预计出货数量达到30台。

目前事故并没有造成人员伤亡。

ASML公司给出的通告

光刻机是半导体制造领域的核心设备之一，ASML公司则是这个行业内的领军企业。据美国数据分析机构TIN在2018年2月给出的数据显示，2017年ASML在全球半导体光刻设备厂中以85%的市占率稳居龙头，其次是日本厂商尼康（Nikon )的10.3%，以及佳能 ( Canon ) 的4.3%，而ASML已经是连续16年稳居市场第一。

而在EUV光刻机上，ASML处于“垄断”地位——这家公司是全球唯一能生产EUV的企业。EUV光刻机作为现今最先进的芯片制造设备，是唯一能够生产7nm以下制程的设备，因此，其也被称为“突破摩尔定律的救星”。

ASML公司的EUV光刻机 图自ASML官网

这让一台EUV的造价可以突破天际。今年5月，《日经亚洲评论》曝料，中芯国际（SMIC）耗资1.2亿美元（相当于其2017年的净利润1.264亿美元），向ASML订购了一台EUV，预期于2019年年初交货。不过中芯国际订购的EUV光刻机主要用于技术研发，短时间内并没有量产EUV工艺的需求，延期交付对中芯国际的影响并不大。

不过目前EUV产能是否受火灾影响，尚不得知。DeepTech深科技认为，受影响的也可能是出货量较大的深紫外光刻机（DUV）。

文章指出，对于各路芯片制造商的“7纳米大战”，这场火灾在时间点上尤为敏感。台积电采用EUV技术的第二代7纳米工艺（N7+）将在明年第一季度流片，全面迎战三星的EUV7纳米工艺。后者已于今年4月完成7纳米芯片工艺的开发。

而台积电N7+工艺下的首位客户，就是海思新一代的麒麟990处理器，这也是华为第一款支持5G的处理器。按此时间轴推估，麒麟990处理器量产时，将对上三星采用EUV技术的第一代7纳米工艺。

ASML近年和中国市场互动频繁，除了中芯国际外，其客户还有华虹半导体、长江存储、合肥长鑫、英特尔大连厂、SK海力士西安厂、福建晋华等。而在2018年上半年，ASML在中国市场营收已达约20%。

不过值得关注的是，想要发展芯片产业，离不开光刻机。此前，我国重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”已经顺利通过验收。该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制，光刻分辨力达到22纳米，结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10纳米级别的芯片。

分析认为，此次国外巨头突遭火灾，为国内厂商提供了一定契机，苏大维格、北方华创、上海贝岭等可望受益。